Rozptyl rtg záření na tenkých vrstvách

Holý

1. Experimentální aspekty rtg difraktometrie s vysokým rozlišením

Monochromátor, analyzátor, měření intenzitní mapy v reciprokém prostoru Rozlišovací funkce difraktometru Geometrie rozptylu, koplanární (XRR, XRD), nekoplanární (GISAXS, GID, GICE)

2. Elementární popis vlnového pole

Rtg vlna ve vakuu, Greenova funkce volné částice, Weylova reprezentace rovinnými vlnami Rozptyl vlnění, diferenciální účinný průřez Směr vlny rozptýlené na tenké vrstvě nekonečných laterálních rozměrů

3. Kinematická teorie rozptylu na ideálních strukturách

Rozptyl na malém krystalu ve Fraunhoferově aproximaci Rozptyl na tenké vrstvě, rtg difrakce, rtg reflexe Empirické započtení lomu a absorpce

4. Kinematická rtg difrakce na porušených tenkých vrstvách

Homogenní deformace, pseudomorfní a relaxované vrstvy Periodické supermřížky Náhodná deformace, koherentní a nekoherentní rozptyl

5. Dynamická teorie rozptylu

Rovnice pro vlny v krystalu, dispersní plochy Okrajové podmínky na povrchu krystalu 1-vlnná aproximace, rtg reflexe, 2-vlnná aproximace, rtg difrakce n-vlnná difrakce, nekoplanární difrakce Semikinematická teorie - metoda DWBA

6. Studium základních parametrů tenkých vrstev rtg rozptylem

Měření tloušťky tenké vrstvy a multivrstvy Deformace v tenkých vrstvách, plastická a elastická relaxace Stanovení stupně relaxace tenké vrstvy rtg difrakcí Studium povrchové rekonstrukce grazing-incidence difrakcí

7. Rtg reflexe na drsných rozhraních

Statistický popis drsnosti, fraktálová a nefraktálová drsnost Růstové modely drsného povrchu, EW a KPZ rovnice Koherentní reflexe na drsných rozhraních Difuzní rozptyl na drsných rozhraních

8. Difuzní rozptyl na objemových defektech v tenkých vrstvách

Klasifikace defektů, silné a slabé defekty Difuzní rozptyl na precipitátech Difuzní rozptyl na dislokacích Model mozaikového krystalu

9. Rtg rozptyl na samouspořádaných strukturách

Mechanismy vzniku samouspořádaných struktur Fenomenologický model samouspořádané struktury Maloúhlý rozptyl - XRR, GISAXS Rtg difrakce - XRD, GID
Literatura

V. Holý, U. Pietsch and T. Baumbach, High-Resolution X-Ray Scattering From Thin Films and Multilayers, Springer-Verlag Berlin, Heidelberg, New York 1999.


 

H. N. Yang, G. C. Wang and T. M. Lu, Diffraction from Rough Surfaces and Dynamic Growth Fronts, World Scientific Singapore 1993.