Klasický rtg práškový difraktometr v uspořádání pro měření tenkých vrstev

Svazek rtg. záření vychází z lampy přes beryliové okénko. Dále je pomocí dvou zkřížených štěrbin (vertikální a horizontální) vymezena potřebná ozářená plocha vzorku.

Při fokusační konvenční práškové difraktometrii jsou v difraktovaném svazku umístěny další štěrbiny, které určují rozlišení (šířku maxim - štěrbina před detektorem) a vylepšují difrakční profily (Sollerovy paralelní štěrbiny). Záznam se provádí v symetrickém uspořádání, kdy se detektor pohybuje dvojnásobnou rychlostí než vzorek.

Na obrázku je uspořádání pro tenké vrstvy, kdy je potřebné užít malý úhel dopadu (kvůli menší hloubce průniku záření do vzorku a většímu efektivnímu signálu od tenké vrstvy). Záznam se pak snímá při malém konstantním úhlu dopadu, kdy se pohybuje pouze detektor. Jelikož by ovšem při fokusační optice docházelo k silné defokusaci (k udržení fokusace by se musel detektor od vzorku vzdalovat a zase přibližovat), je do svazku umístěn kolimátor tvořený sadou dlouhých rovnoběžných desek (kolmo k difrakční rovině - k rovině obrázku). Tak se vlastně vytvoří paralelní svazek. I za cenu ztráty intenzity je to pro daný účel výhodné.

Monochromátor v difraktovaném svazku je tvořen monokrystalem, často grafitovým, na kterém dochází k difrakci. Různé vlnové délky jsou difraktovány do různých úhlů a nedostanou se do detektoru, kromě úzkého oboru na který je krystal nastaven. Tak lze odstranit ze signálu např. tzv. fluorescenční záření (sekundární), které může vycházet ze vzorku a jen zvyšuje pozadí na difraktogramu. Dále se tak odstraní složka Kb z rtg lampy.